MACHINE 半導體及各項自動化設備
空間除電器│
基本配置
系統本體
①主控制器：IDS3000
②輸出監控器：IDS-002
③高壓纜線 (10m×4lines): IDH-2010
④放電纜線 (10m×4pcs): IDW-2003- 支撐架 (H3.5m×8pcs，選購品)
- 主控制器放置台
- 對象是懸浮粉塵。（有効範圍：廣空間）
- 可減低無塵室因應消除靜電所耗費的濕度控制成本。
- 無關對象物的極性（±）都能消除。
空間除靜電系統與離子靜電消除器(Ionizer)的比較
| 項目 | 空間除靜電系統 | 離子靜電消除器 |
| 方式 | 高壓電對特製導線放電 | 尖端放電產生正負離子 |
| 電極形狀 | SUS材質導線 | 金屬針 |
| 是否需送風 | 無也可 | 大多需要 |
| 是否會產生灰塵 | 無 | 電極尖端會產生灰塵 |
| 是否會產生臭氧 | 無 | 會 |
| 維護保養 | 電極的清潔 | 電極的清潔與更換 |
架設效果實例1 空間內懸浮微塵數量減少
架設效果實例2 無需額外控制濕度
架設效果實例3 晶圓附著異物減少
系統安全性
消費電力計算
