MACHINE
機器

空間除電器│

基本配置

  1. 系統本體
    ①主控制器:IDS3000  
    ②輸出監控器:IDS-002  
    ③高壓纜線 (10m×4lines): IDH-2010  
    ④放電纜線 (10m×4pcs): IDW-2003
  2. 支撐架 (H3.5m×8pcs,選購品)
  3. 主控制器放置台
  • 對象是懸浮粉塵。(有効範圍:廣空間)
  • 可減低無塵室因應消除靜電所耗費的濕度控制成本。
  • 無關對象物的極性(±)都能消除。

空間除靜電系統與離子靜電消除器(Ionizer)的比較

項目 空間除靜電系統 離子靜電消除器
方式 高壓電對特製導線放電 尖端放電產生正負離子
電極形狀 SUS材質導線 金屬針
是否需送風 無也可 大多需要
是否會產生灰塵 電極尖端會產生灰塵
是否會產生臭氧
維護保養 電極的清潔 電極的清潔與更換

架設效果實例1 空間內懸浮微塵數量減少

架設效果實例2 無需額外控制濕度

架設效果實例3 晶圓附著異物減少

系統安全性

消費電力計算